在电源故障时，监控软件进行数据备份可以参考以下步骤：

查找备份功能：在监控软件中找到数据备份的选项或功能按钮。

设置备份路径：指定备份数据要存储的位置，确保有足够的存储空间。

执行备份操作：按照软件的提示或操作流程，启动数据备份过程。

确认备份完成：检查备份是否成功，确保数据已被完整保存。

需要注意的是，不同的监控软件可能具体操作方式有所差异，你可以根据实际使用的软件进行相应的调整。