在清洁维护UPS时，如果不慎损坏了某些部件，应该尽快进行更换。以下是一些更换部件的步骤：

1. 确定需要更换的部件：根据故障情况，确定需要更换的部件，例如电池、风扇、电路板等。

2. 查找替换部件：查找与原部件相同或兼容的替换部件。可以从UPS制造商或授权的服务中心购买替换部件。

3. 关闭UPS并拔下电源线：在更换部件之前，确保UPS已关闭并拔下电源线，以确保安全。

4. 拆卸损坏的部件：根据UPS的型号和结构，拆卸损坏的部件。请注意，在拆卸过程中，要遵循制造商的建议和安全指南，以免造成进一步的损坏。

5. 安装替换部件：将替换部件安装到UPS中，并确保正确连接和固定。

6. 测试UPS：在安装替换部件后，对UPS进行测试，以确保其正常工作。可以进行外观检查、电源测试、功能测试等。

7. 清洁和整理：在完成更换部件和测试后，清洁UPS的外壳和内部，并整理好所有部件和连接线。

需要注意的是，更换UPS部件需要一定的技术和经验，如果不熟悉UPS的内部结构和操作，建议咨询人士或UPS制造商。同时，在更换部件时，要确保遵循制造商的建议和安全指南，以避免对设备造成进一步的损坏。